222 nm紫外线准分子光源的光学性能研究

李锦, 卢丁铭, 许春, 苏裕心, 林曼婷, 刘国光

中国消毒学杂志 ›› 2025, Vol. 42 ›› Issue (12) : 893-897.

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中国消毒学杂志 ›› 2025, Vol. 42 ›› Issue (12) : 893-897. DOI: 10.11726/j.issn.1001-7658.2025.12.004
实验研究

222 nm紫外线准分子光源的光学性能研究

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Study on the optical performance of 222 nm excimer light sources

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